五金丝印---显影抛光-东莞利成感光五金-鼎湖五金丝印---显影

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    2024-2-28

张应叙
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显影:将---后的硅片浸泡在显影液中,鼎湖五金丝印---显影,在此过程中,光刻胶会在掩膜中没有被---的部分(即需要去除的图案区域)中被消蚀,五金丝印---显影加工,并暴露出硅片表面。---一般在---机内进行,目前的---机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,---取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、---时间、菲林胶片等因素。尽管对193i负胶的研发已经倾注了很大的努力,但是其性能仍然与正胶有比较大的差距,所以提出负显影(negative tone develop,五金丝印---显影抛光,ntd)。



用负显影工艺可以实现较窄的沟槽,负显影工艺已经被广泛用于20纳米及以下技术节点的量产中显影工艺一般步骤如下:图2 显影工艺步骤1.预喷淋(pre-wet):为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,显影液表面停留(puddle):为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。



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