显影状态的维持
a、有无过滤器,---显影液的干净;
b。有无自动保胶及保护胶的自动清洗系统;
c、有无防氧化盖(金属盖散热快,连南铝材5052---显影,塑料盖散热慢)
测试步骤
设置---程序,生成测试图形阵列。要求每一列对应不同dose,每一行对应不同focus.---生产测试版,并进行显影、蚀刻和去胶处理。测量测试版上阵列中每个点的cd.分析测量数据。
可以使定影液处于酸性状态,不断地中和从显影液中带来
数据处理
cd测量数据。一般cd uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.
铝材5052---显影厂-清溪利成感光由东莞市清溪利成感光五金厂提供。东莞市清溪利成感光五金厂坚持“以人为本”的企业理念,拥有一支高素质的员工队伍,力求提供---的产品和服务回馈社会,并欢迎广大新老客户光临惠顾,真诚合作、共创美好未来。利成感光——您可---的朋友,公司地址:东莞市清溪镇三中老中坑莲湖街5号,联系人:张应叙。
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