平板---显影加工定制-如东平板---显影加工-清溪利成感光

测试步骤

根据空白版供应商的显影时间建立显影工艺的初始recipe，一般初始recipe内容如下：

掩模版停在高位，平板---显影加工工厂，冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴（先喷药液5秒，然后喷水10秒）掩模版降至底部，转速设置100rpm，显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液，显影时间参考空白版供应商建议。完成显---，平板---显影加工厂，显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲水清洗掩模版，掩模版应上下移动以---整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后，蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒，然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考etch to clea则试结果。完成蚀刻后，蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后， 1000rpm旋转甩干。

碱在显影液中的促进作用

显影剂在碱性的溶液中，具有较好的显影活性，如东平板---显影加工，这是由于大多数显影剂的显影主要是靠带负电荷的显影剂离子。如对二酚在显影时，起作用的是对一酚的负离子。碱在显影液中的主要作用就是增加显影剂的电离程度，促使更多显影剂负离子产主，从而加快显影速度。

显影与ph值的关系

显影液碱性的强弱在化学上是以ph值来表示的，平板---显影加工定制，对同一种显影剂来说， ph值越大，产生的负离子越多，显影能力也越强。