充电宝---显影加工-金湖充电宝---显影加工-利成感光

测试步骤

根据空白版供应商的显影时间建立显影工艺的初始recipe，一般初始recipe内容如下：

掩模版停在高位，冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴（先喷药液5秒，然后喷水10秒）掩模版降至底部，转速设置100rpm，显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液，充电宝---显影加工订做，显影时间参考空白版供应商建议。完成显---，显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲水清洗掩模版，掩模版应上下移动以---整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后，金湖充电宝---显影加工，蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒，然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考etch to clea则试结果。完成蚀刻后，蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后， 1000rpm旋转甩干。

显影状态的维持

a、有无过滤器，---显影液的干净；

b。有无自动保胶及保护胶的自动清洗系统；

c、有无防氧化盖（金属盖散热快，塑料盖散热慢） 

测试步骤

设置---程序，生成测试图形阵列。要求每一列对应不同dose，每一行对应不同focus.---生产测试版，并进行显影、蚀刻和去胶处理。测量测试版上阵列中每个点的cd.分析测量数据。