准备基础物质:先选择基础物质如硅片,电脑---显影公司,并在其表面上涂上一层光刻胶。布图设计:根据芯片设计,制定合适的---和显影条件,并在计算机上生成掩模图形来辅助芯片制造。---:使用紫外线---机将掩膜上的图案投射到光刻胶上。显影喷淋(developer dispense):在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影喷嘴分为以下几种:e2喷嘴,ld喷嘴,gp喷嘴,mgp喷嘴等。

---一般在---机内进行,目前的---机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,---取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、---时间、同时---影响图案的线宽,过量---会使图形线条变细,蚀刻产品线条变粗。所以好的办法是依据显影的干膜光亮程度,图像清晰度,图案线条与底片相符,---设备参数和感光性能,确定适合的---时间。

显影液表面停留(puddle):为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。从而形成可见的图片。而在数字摄影中,电脑---显影,---则是相机中的数字传感器接收到光线所对应的信息,电脑---显影报价,并记录下来,再通过数字信号处理,将其转化为图片的过程。甩干(spin dry):为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速

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