东莞利成感光五金-桐庐钢材202---显影加工

数据处理

cd测量数据。一般cd uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.cd测量数据一般分 方向和y方向的数据。由于---机的特性，通常y方向的cd精度高于 方向的精度。所以在做显影机！性能指标分析时，采用y方向的cd值分析。数据分析软件。该软件是一个excel文档，通过执行文档中的宏命令对cd数据矩阵分析，钢材202---显影加工定做，分离出各种因素对cd均匀性的影响。通常cd均匀性可分解成径向误差，侧向误差和随机误差。由于我们的显影设备是旋转式喷淋，所以我们需分离出径向误差加以分析，通过一定补偿方法提高cd均匀性指标。

当显影液中含有---酸钠时，即可消除上述不利影响，这是由于---酸钠可迅速地与显影剂的氧化产物--配反应，生成了无色的可溶性的对二酚单磺酸钠，而且它还具有显影作用，是一种显影活性较弱的显影剂。这样不仅避免了显影过程中污染物质的大量形成，而且还将其氧化产物转化成有助于显影的物质，使显影液显影能力的得比较缓慢，起到了稳定显影能力的作用。