平面---显影企业-金湾平面---显影-利成感光五金厂

测试步骤

根据空白版供应商的显影时间建立显影工艺的初始recipe，一般初始recipe内容如下：

掩模版停在高位，冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴（先喷药液5秒，然后喷水10秒）掩模版降至底部，转速设置100rpm，显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液，显影时间参考空白版供应商建议。完成显---，显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲水清洗掩模版，掩模版应上下移动以---整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后，蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒，平面---显影企业，然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考etch to clea则试结果。完成蚀刻后，蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后， 1000rpm旋转甩干。

促进剂

显影液中如果只有显影剂，是可以完成显影化学反应的，但化学反应速度很慢，并且显影效果不一定理想。一般的显影剂必须在碱性溶液中才有足够的显影能力，而且还能提高显影速变。由于碱能促进显影作用，所以碱就称为促进剂。常用的促进剂有碳酸钠na，co，、碳---k2co，、硼砂na，b40， 10h，0偏硼酸钠nabo，naoh、化钾koh以及磷酸钠na，po，等等。化钾均属强促进剂。适用于高反差快速显影液。