显影喷淋(developer dispense):在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影液表面停留(puddle):为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。显影工艺是指用显影液去除晶圆上部分光刻胶,形成三维的物理图形在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,

---显影可以帮助制造微米或毫米尺寸的芯片结构,实现芯片的复杂功能。---显影技术可以制造出复杂的三维芯片结构,让芯片具有更高的性能和功能。---显影可以在芯片上制造微细的线路,从而实现快速和---的信号传输。---显影可以制造微小的电容、电阻、晶体管、发光二极管或太阳能电池等晶体管器件,音箱---显影,快速将电信号转变为其他形式的能量。

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