一种---及显影设备，包括: 边缘---装置，用于对基板的边缘进行---； 显影装置，铝材---显影报价，用于对---后的基板进行显影，该边缘---装置位于该显影装置的入口处； 其中，该基板在被输送至该显影装置的过程中，被该边缘---装置进行边缘---。如权利要求2所述的---及显影设备，其中，该驱动装置包括伺服马达、丝杠、螺母及螺母座，铝材---显影价钱，该丝杠与该伺服马达的输出端连接，铝材---显影厂家，当该伺服马达启动时，板芙铝材---显影，该丝杠旋转，连接于该丝杠的螺母在该丝杠上直线运动，进而带动固定于该螺母上的螺母座直线运动，该边缘---机和cxd影像处理器设置于该螺母座上。
4:由显影装置30对---后的基板s进行显影。
1:对基板s的主体进行---；
2:由基板输送机构50将基板s输送至显影装置30 ；
3:由边缘---装置20对基板s的边缘进行---；
4:由显影装置30对---后的基板s进行显影。
其中，在步骤i中可利用主体---机10对基板s的主体进行---。
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提供一种---及显影方法，该方法包括以下步骤:
1:对基板的主体进行---；
2:由基板输送机构将该基板输送至显影装置；
3:由边缘---装置对基板的边缘进行---；
4:由该显影装置对---后的基板进行显影。
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