低成本、高---性、高产能及优胜的精密五金蚀刻挑选比。但相对于干式精密五金蚀刻，除了无法界说较细的线宽外，湿式精密五金蚀刻仍有以下的缺点：1) 需花费较高成本的反响溶液及去离子水;2) 化学---处理时人员所遭受的安全问题;3) 光阻附着性问题;4) 气泡构成及化学精密五金蚀刻液无法---与晶圆外表触摸所形成的不---及不均匀的精密五金蚀刻;5) 废气及潜在的危险性。
在实践操作中，操作人.员不该让零件在腐蚀液中腐蚀78min后才取出，应该在60min或70nun时，取出零件并丈量一’下已蚀刻---。在测.量时应留意将被腐蚀外表的氧化物清除洁净后再进行丈量，标牌---显影厂，然后依据实践的蚀刻---再把零件放到腐蚀液中，直到预订的腐蚀加工---为止。关于精度请求高的腐蚀零件，可多添加几回丈量时刻。关于化学蚀刻，为---蚀刻精度，标牌---显影，这是常用的逼进法。
精密五金蚀刻技能是运用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反响来去掉薄膜未被光阻覆盖的有些，而抵达精密五金蚀刻的目的，标牌---显影抛光，这种精密五金蚀刻办法也即是所谓的湿式精密五金蚀刻。由于湿式精密五金蚀刻是运用化学反响来进行薄膜的去掉，标牌---显影公司，而化学反响自身不具方向性，因而湿式精密五金蚀刻进程为等向性，一般来说此办法不---界说3微米以下的线宽，但对于3微米以上的线宽界说湿式精密五金蚀刻仍然为一可挑选选用的技能。
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